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2023年3月30日，湖南红太阳光电科技有限公司自主研制的干法清洗设备顺利发往客户现场，该设备可用于石墨舟上沉积的氮化硅和非晶硅的清洗，也可用于LPCVD石英件的清洗，具有良好的兼容性，目前已申请多项专利，是国内首台光伏用干法清洗设备。

常规湿法清洗的方式，存在清洗时间长、占用生产人员多、石墨舟流转缓慢、清洗不干净及对环境不友好等诸多问题。我司自主研制的干法清洗设备，采用成熟的管式设备架构，具有占地面积小、备舟数量少、清洗时间短、COO低、清洗效果出色等特点。

此外，基于清洗和镀舟的一体化解决方案，可极大提高舟的流转速度，显著降低生产成本和人工成本，同时在促进效率提升方面具有积极作用，助力电池品质的提升。技术创新是产品发展的内核，通过对等离子体技术的不断深入研究，结合行业发展，在新领域、新场景的不断拓展，干法清洗方式极有可能对行业硅片载具清洗方式带来革命性变革，成为新热点。

（刘非凡）